北京，2022年4月6日-Atonarp，半導(dǎo)體工藝控制原位實時高靈敏度計量領(lǐng)域的領(lǐng)頭企業(yè)，在全球范圍內(nèi)正式發(fā)布并銷售其Aston平臺。這是Atonarp公司全球發(fā)展進程中的一座重要里程碑。
Aston是一款緊湊型質(zhì)譜儀，可提供準確、實時的工藝化學(xué)數(shù)據(jù)，其分子濃度測量靈敏度可達十億分之一。這些數(shù)據(jù)能讓半導(dǎo)體制造FAB實現(xiàn)高效運行，從而提高產(chǎn)量和吞吐量，為FAB運營商帶來巨大的經(jīng)濟利益。
隨著這一消息的宣布，Atonarp正向韓國和美國的領(lǐng)先半導(dǎo)體FAB和設(shè)備制造商交付了Aston Impact。此外，Atonarp還向客戶交付數(shù)十臺Aston，供客戶在其先進工藝中進行評估，以優(yōu)化其工藝和制造效率。
Atonarp公司產(chǎn)品營銷副總裁Martin Mason說：“在分子水平上快速檢測、量化并提供可操作的工藝控制數(shù)據(jù)的能力，對于先進半導(dǎo)體制造工藝來說意義重大。對于一個典型的FAB來說，即使吞吐量只增加百分之一，每年也能增加數(shù)千萬美元的產(chǎn)量。Aston十分清楚其潛力，在這其中，速度和靈敏度對分子水平的工藝控制效率來說十分重要。”
計量是半導(dǎo)體制造的一個重要部分，在生產(chǎn)設(shè)備內(nèi)測量多種氣體的濃度，可以確保滿足工藝余量，同時盡量減少浪費。以前的解決方案依賴于光發(fā)射光譜測量和殘余氣體分析儀，但這些傳統(tǒng)方法已不能滿足當今先進存儲器和邏輯工藝所需的速度和靈敏度。相反，Aston使用創(chuàng)新質(zhì)譜技術(shù)，采用同類最佳傳感器，可提供快速的結(jié)果和出色的靈敏度，以及抵抗腐蝕性氣體和冷凝物所需的堅固性。
Aston為先進半導(dǎo)體應(yīng)用提供可操作數(shù)據(jù)，如原子水平沉積(ALD)和sub-fab操作等。Aston靈敏度低于十億分之平方根赫茲(9ppb√Hz)，比競爭對手的解決方案高十倍，且不影響收集數(shù)據(jù)的速度。
Atonarp正積極開展合作，為半導(dǎo)體領(lǐng)域的新應(yīng)用以及需要實時、敏感氣體分析的應(yīng)用（如石油和天然氣以及凍干法工藝控制）開發(fā)Aston平臺。
Aston已取得多項認證和資格，包括EN55032（歐盟）、EN55035（歐盟）、FCC part 15（美國）、ICES-003（加拿大）、VCCI CISPR-32（日本）、BSMI（中國臺灣）、KC EMC（韓國）的EMI/EMC標準。憑借這些認證，Aston現(xiàn)已面向全球客戶批量發(fā)貨。
Atonarp與韓國ATI公司合作，為該地區(qū)客戶提供蝕刻、CVD、空間ALD和Sub-fab應(yīng)用的綜合解決方案。