黃河水電啟動國家科技重大專項電子級多晶硅材料研發

    日前，國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》(即：國家02專項)電子級多晶硅材料研發工作在黃河公司新能源分公司啟動。

    該項目由黃河公司新能源分公司和光伏技術中心共同承擔，針對40納米集成電路用12英寸硅單晶產品進行研發。該公司2500噸/年多晶硅項目是2014年工信部正式公布的109家符合《光伏制造行業規范條件》的首批企業之一，也是全國唯一一家能夠生產半導體級一等品多晶硅的企業，成功填補了國內半導體應用材料的空白。

    據了解，此次黃河公司承擔的40納米集成電路用12英寸硅單晶產品對純度和其參數有嚴格要求，該項目是通過精餾系統和還原爐系統生產過程中關鍵技術研究及工藝改進，來提高中間產品純度，并通過完善對中間產品和氫氣等關鍵材料的分析方法實現全過程質量控制,完成產品質量整體提升，預計2016年12月完成。項目的成功實施將打破中國40納米集成電路用12英寸硅單晶產品完全依靠國外進口的歷史。

    此次黃河公司申報的國家科技重大專項《極大規模集成電路制造裝備及成套工藝》(02專項)電子級多晶硅材料研發項目于今年5月26日由專項實施管理辦公室正式批復同意，該項目將通過事后立項事后補助的方式，獲得國家財政補助。<