兩家LED和太陽能生產設備巨頭今年二季度的財報相信會讓國人暗生艷羨卻又很不是滋味：Veeco Instruments 2010年第二季度的營收達2.53億美元，與2009年同期相比年增251.4%；Aixtron 2010年第二季度的營收達1.918億歐元，年增238%。正是固態照明產業和可再生能源產業的蓬勃發展讓這兩家分別位于美國和德國的企業賺得是盆滿缽滿，中國相關生產企業和資本在其中也可謂“貢獻”良多，例如，有機構預計，2010年Aixtron和Veeco的MOCVD將有35%以上是賣到中國大陸。

    如何發展國產的太陽能和LED生產設備，降低生產成本，是關乎中國綠色節能產業健康發展的重大命題。目前國產太陽能光伏設備在國內用戶中已建立起良好的信譽，得到業界的廣泛認可，越來越多的客戶從國產設備使用中受益。中國光伏設備企業已基本具備太陽能電池制造整線裝備能力，部分產品如擴散爐、等離子刻蝕機等開始少量出口，擴散爐、等離子刻蝕機、清洗/制絨機、石英管清洗機、低溫烘干爐)已在國內生產線占據主導地位，管式PECVD、快速燒結爐和進口設備并存但份額在逐步增大，全自動絲網印刷機、自動分撿機、平板式PECVD則基本依賴進口。

    即將參展第76屆中國電子展暨亞洲電子展（上海）的青島華旗科技有限公司就是一家專業的半導體工藝設備及先進材料專用設備研發、制造廠家，致力于為半導體集成電路分立器件、太陽能電池、半導體照明LED及磁性材料廠家提供先進的專用設備,工藝涵蓋化合物半導體晶體生長、外延、薄膜淀積（氮化硅、氧化硅、多晶硅等）、氧化擴散退火（含快速退火工藝）合金、真空燒結等工藝。該公司最新推出的JDF200-3FS太陽能電池擴散爐可供太陽能電池片生產線上125mm×125mm 、156mm×156mm方片擴散、氧化、退火等工藝使用，主要特點和優勢如下：

    ◆工業計算機控制系統，對爐溫、進退舟、氣體流量、閘門等動作進行自動控制；

    ◆閉管式擴散系統，有效降低生產成本，更潔凈，更環保；

    ◆石英舟采用軟著陸送片，高可靠性；

    ◆工藝有毒害尾氣定向收集、集中處理排放，更加安全環保；

    ◆具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置；

    ◆具有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能；

    ◆控溫精度好，溫區控溫穩定性好；

    ◆關鍵件全部采用進口件，系統可靠性高，抗干擾性能強。

    另一家參展商青島賽瑞達設備制造有限公司也將展示低壓化學氣相淀積設備、等離子增強化學氣相淀積設備和SRD-VGF單晶爐設備。其LPCVD用于淀積薄膜Poly-Si、Si3N4、SiO2、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、非晶硅及難熔金屬硅化物等多種薄膜。主要特性和優勢如下：

    ◆ 對工藝時間、溫度、氣體流量、閥門動作、反應室壓力實現自動控制；

    ◆ 采用進口壓力控制系統，閉環控制，穩定性強；

    ◆ 采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門，確保氣路氣密性；

    ◆ 具有完善的報警功能及安全互鎖裝置；

    ◆ 具有良好的人機界面，靈活的工藝性能。 

    在LED照明方面，中國的大功率特性襯底技術、加工穩定性以及對外延效率的提升率與國外相比，差距逐漸縮小，但是上游生產性外延設備一直主要依賴進口昂貴的國外產品。MOCVD等關鍵設備對LED產業發展具有舉足輕重的作用，有識之士都呼吁中國相關部門要集中人才和資源進行重點開發，解決制造設備中的關鍵技術，掌握具有自主產權的核心技術，并盡早實現LED生產設備國產化量產。只有這樣才會加快推動LED產業發展，降低LED相關產品的成本，實現健康、迅速地發展。

    可喜的是，即將在第76屆中國電子展亮相的國產LED生產設備為人們點燃了希望，以青島華旗科技和青島賽瑞達為代表的一批中國設備制造商在關注太陽能電池市場的同時，正把目光投向LED、LCD、電力電子器件等市場應用領域，并保持住價格優勢，在新一輪的競爭中爭取更大的市場空間。他們或將成為改變中國乃至世界LED生產設備市場格局的重要力量。

    圖2就是青島華旗科技的一款適用于化合物半導體-LED/半導體照明等科研領域的外延及晶體生長MOCVD系統。該系統由生長室、氣源、氣體控制系統、真空系統、整機的計算機控制系統等組成，系統各工藝參數均可由計算機自動控制（WINDOW 界面）。該產品可滿足2"多片晶圓，支持GaN/GaAs等薄膜工藝、采用電阻加熱/感應加熱的結構形式，生產能力為2英寸1、3、6片。另外，該公司還承擔了部分國家863項目（如半導體白光照明GaN生長的HVPE設備等）。

    賽瑞達公司除了一系列太陽能專用設備之外，也開發了幾款LED生產設備，包括LED專用擴散爐和專用合金爐。其LED專用擴散爐和專用合金爐關鍵件全部采用進口件，具有高可靠性和高抗干擾能力，具有可編程的升、降溫功能，以及有斷電報警、超溫報警、極限超溫報警等多種安全保護功能。可存儲九條工藝曲線，每條工藝曲線最多有九步，曲線間可以任意鏈接、重復。另外還具有多種工藝管路，可供用戶隨意靈活配置。賽瑞達可為客戶提供斜滾式推拉舟系統，石英雙桿推拉舟系統及SiC漿推拉舟系統的靈活選擇。

    上游設備的成功本土化離不開下游外延芯片廠、LED封裝廠、模塊乃至燈具供應商、后端設備商的配合與支持。據悉，本屆秋季中國電子展，匯集了真明麗、深圳市穩亮電子、李洲科技、寧波升譜電子、常州愛立德電子、臺灣億光電子、金臺電子等眾多大中小型LED企業，以及田中精機、昆山具良、日特機械工程、華勝科技、上海富榮電子等一大批后端生產設備商，并專門開辟了LED照明展區，為產業上下游的互動提供了良好的互動平臺，有利于促成他們之間的合作。當然，就像有些專家指出的，MOCVD等關鍵裝備的國產化也是一件體現國家意志的事情，建議國家大力地投入，全面地支持去做這件事，特別要注意工藝與設備的結合，要鼓勵外延芯片廠商應用國產設備，同時要給予一定的資助。■