日前，我國(guó)首臺(tái)具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的硅電容傳感器在沈陽問世。由沈陽儀表科學(xué)研究院研制的硅電容傳感器及硅復(fù)合傳感器將大規(guī)模投入生產(chǎn)。兩種產(chǎn)品及相關(guān)技術(shù)填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)該項(xiàng)目空白，將改變我國(guó)企業(yè)一直靠進(jìn)口硅電容傳感器的歷史。
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http:m.mangadaku.com/news/2005-12/2005122195944.html
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