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顆粒硅帶襯底上多晶硅薄膜電池研制取得新進展

2005/9/8 9:36:58   電源在線網
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  目前中國科學院廣州能源研究所太陽能實驗室承擔的國家“863”項目“顆粒硅帶襯底上多晶硅薄膜電池的研制”在顆粒硅帶襯底制備方面取得了新的進展。多晶硅薄膜電池對襯底的要求是非?量痰,它不僅要求襯底滿足與硅的化學相熔性好、熱膨脹系數匹配,而且還要求襯底表面平整、光滑以適于隨后的電池制備過程。

  近來,太陽能實驗室相關科研人員通過對原來顆粒硅帶制備工藝的優化,在實驗室內成功地制備出表面質量較好的顆粒硅帶,制備的顆粒硅帶表面光滑而且平整,非常適合多晶硅薄膜的外延和薄膜電池制備過程。下階段的研究工作將進一步圍繞多晶硅薄膜電池器件的制備展開。
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