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磁控濺射電源維修 PEII電源維修

公司名稱：廣州市伊恩埃半導(dǎo)體技術(shù)有限公司
所屬類別：電源應(yīng)用分類>>電鍍電源
電子信箱：hamton.lin@aeni.com.cn
聯(lián)系電話：86-20-86585859
聯(lián) 系人：林先生
更新時間：2010-4-27 15:33:37

產(chǎn)品詳情

AE(Advanced Energy) 低頻電源

PEII 低頻系列

PEII 低頻系列電源提供40 kHz 脈沖輸出，具有增強(qiáng)的弧控制以及與高達(dá)60 kW 的輸出功率，該系列電源具有極寬的匹配阻抗，無輸出變壓器等外部組合硬件，特別適用于反應(yīng)濺射。

優(yōu)點

●恒功率、電壓或電流輸出

●最高的靈活性與模塊性

●強(qiáng)大的電弧控制

●自動制程保護(hù)裝置

●極寬的祖抗匹配范圍

●高功率密度

PEII 5000

●輸入電壓：180-230VAC，3Φ（接地）

●輸出頻率：40kHz±0.01%

●輸出功率：5000W

●輸出電壓：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7

●輸出電流：9A RMS nominal in tap 4；16A RMS max in tap 1

●冷卻方式：水冷，5-30℃，2gpm

●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×寬×長）

●重量：40.8KG

PEII 10K

●輸入電壓：180-230VAC，3Φ（接地）

●輸出頻率：40kHz±0.01%

●輸出功率：5000W

●輸出電壓：547V RMS nominal in tap 4；953V RMS max in tap 7

●輸出電流：18 A RMS nominal in tap 4；32A RMS max in tap 1

●冷卻方式：水冷，5-30℃，2gpm

●尺寸：177×482.6×495.3mm（高×寬×長）

●重量：40.8KG

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