AE RF Generator Repair
公司名稱：廣州市伊恩埃半導體技術有限公司
所屬類別：電源應用分類>>電鍍電源
電子信箱：hamton.lin@aeni.com.cn
聯系電話：86-20-86585859
聯 系 人：林先生
更新時間：2010-4-27 15:33:44
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產品詳情
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-7kW/13
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-5513
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-3013
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 RFG-1250HALO
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 VHF-2060 2KW
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 HFV-8000 5/8KW
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-1513
AE(Advanced Energy) 維修案例 RF/高頻電源 Apex-3513
AE(Advanced Energy) RF電源
Paramount™ 射頻功率輸送系統
這款半機架的3kW 的 Paramount™ 射頻 (RF) 功率輸送系統擁有更強的功率和阻抗測量性能，能夠在 13.56MHz 固定或可變頻率、50歐姆和非50歐姆負載下（電壓駐波比 (VSWR) 超過3:1），為您帶來出色的輸送功率精度和控制性能。能夠與最突然變化的等離子阻抗保持實時同步，Paramount 射頻功率輸送系統能為新一代技術節點帶來更快的轉換速度、更少的制程步驟以及更短的制程時間。其阻抗測量精度可與網絡分析儀的水平相媲美，而可選頻率的調諧幾乎可以瞬間實現（達到毫秒數量級），其速度較市場上的任何其它產品都快。從而實現真正卓越的精確性、可重復性和對制程的控制。
Apex® 射頻供電系統
通用 Apex® 系列射頻電源和供電系統采用復雜的射頻轉換技術，在適合于真空室安裝的模塊化設計中提供增大的產品和工藝可靠性。Apex 平臺在針對半導體、平板顯示器或數據存儲制造以等離子為基礎的薄膜工藝中表現優異。
HFV® 變頻 (~2 MHz) 電源
靈活的 HFV® 電源主要用作200和300 mm 晶圓制程、平板顯示器和 DVD 設備的等離子發生器，為離子化物理氣相沉積 (IPVD)、CVD 和蝕刻提供了工藝一致性。這種通用電源的特點有數字合成變頻輸出和微處理器控制，輸出功率電平為3、5和8 kW。此外，其輸出頻率范圍為1.765-2.165 MHz。固件上的頻率調諧參數可進行定制，以確保在各種真空室結構和工藝方法下的可重復運行。
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