中國LED專利突破 MOCVD設備量產

    在LED高端設備中，MOCVD是高亮度LED芯片生產過程中最關鍵的設備，因設備技術難度高、開發周期長以及國內產業化起步晚等原因，市場一直被歐美企業壟斷。

    雖然我國逐漸在LED外延芯片與封裝在規模與素質上都取得重大成就，產品國產化比例顯著提升，但關鍵裝備特別是量產型MOCVD仍然依靠進口，生產成本居高不下，嚴重制約著LED產業發展。

    近日，具有國際尖端技術水平的國內首臺MOCVD（金屬有機化學氣相沉積設備）設備在正泰集團上海張江理想能源設備有限公司成功下線，并與世界知名的臺資龍頭企業簽約。此舉打破了高亮度LED芯片設備生產長期被歐美企業壟斷的局面，使重大裝備國產化邁出堅實一步。

    2010年9月，理想能源啟動MOCVD項目，在短短兩年時間里，設計開發出具有自主知識產權的MOCVD設備，并完成了第一代單腔體獨立設備和高產出率的簇式生產系統的生產組裝，成功地實現GaN基LED外延片的發光。

    經過設備原型機近一年的運行證明，其性能達到甚至超過預定指標，并于2012年5月通過上海市科委驗收。依據工藝驗證結果和客戶反饋，在第一代原型機的基礎上開發出第二代量產型MOCVD設備，單腔一次可生產84片2英寸外延片，超過主流進口設備。量產機型在產出率、可靠性、運行經濟性等方面都有了顯著的提升，并已申請20項國內外專利。<